ディスプレイ製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

PDV型

株式会社荏原製作所

PDV型は、画期的な超軽量(20kg以下)、空冷、オイルフリー構造を持つユニークなドライ真空ポンプです。到達圧力0.5Pa以下を発揮しながら低振動…

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EST型

株式会社荏原製作所

EST型は、反応副生成物が形成されるCVD等向けにスクリュー形ロータを採用し、許容流入ガス量増大・耐食性能・排気速度可変機能・通信機能等の付…

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EBT型

株式会社荏原製作所

玉軸受タイプターボ分子ポンプ

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EMT型

株式会社荏原製作所

磁気軸受タイプのターボ分子ポンプ

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有機ELディスプレイパネル蒸着用高精細ハイブリッドマスク(FMM)

マクセル株式会社

リアルRGB600ppiレベルの高精細化を実現

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チラー(Chiller)

株式会社日立ハイテク

チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造…

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ラビング・ジグ MRG-100

株式会社イーエッチシー

ラビング処理装置の入門機。

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加熱型スピンコーター

株式会社イーエッチシー

試料台の加熱機能があるスピンコーターです。

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剥離帯電防止コーティング NF-685B/685/718ECB

日本フッソ工業株式会社

剥離による静電気帯電を長期にわたり抑制!しかもガラス基板をやさしく保護!

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DW-6000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

優れた生産性と高解像度露光を両立した大型パネル用直接描画露光装置

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