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P250A

MKS Instruments
最終更新日: 2020年05月14日
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高性能大流量マルチガス／マルチレンジ250slm マスフローコントローラ

・メタルシールド構造
・独自の制御バルブにより100～250slmのNガスの制御が可能
・高速な設定時間
・1％のセットポイント精度Flow rates from 100 to 250 slm
・Analog I/O: 0 to 5 VDC, 4 to 20 mA
・Digital I/O: DeviceNet, RS485, Profibus

基本情報

・Full Scale Flow Range100 to 250 slm (N2 equivalent)
・Maximum Inlet Pressure150 psig
・Normal Operating Pressure Differential25 to 45 psid (with atmospheric pressure at the MFC outlet)
・Proof Pressure1000 psig
・Burst Pressure1500 psig
・Control Range2% to 100% of Full Scale
・Typical Accuracy±1% of set point for > 20% to 100% Full Scale
±0.2% of Full Scale for 2% to 20% Full Scale
・Repeatability±0.3% of Reading
・Resolution0.1% of Reading
・Zero Temperature Coefficient< 0.05% of Full Scale/°C
・Span Temperature Coefficient< 0.08% of Reading/°C
・Inlet Pressure Coefficient< 0.02% of Reading/psi
・Typical Settling Time< 3 sec typical above 10% Full Scale @ 50 psi
・Warm-up Time30 minutes
・Operating Temperature10° to 50°C
・Storage Humidity0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
・Storage Temperature-20° to 80°C
・Temperature Display0 to 85°C
・Temperature Accuracy± 2°C
・Temperature Resolution0.1°C
・Display4 digits for value, 4 characters for unit
・Fitting TypeSwagelokR 8 VCRR
・External Leak Integrity< 1 x 10-10 (scc/sec He)
・Leak Integrity Through Closed Valve< 1.0% of configured Full Scale at 40 psia to vac (<500 mTorr)
・Wetted Materials316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy, 430FR, Buna-N, nickel, polyimide
・Surface Finish10 μinch average Ra
・Weight3 lbs (1.4 kg)
・ComplianceCE Compliant to 89/336/EEC
・DeviceNet Input Power Required+11 to +25 VDC per DeviceNet? specification (@ < 9 watts)
・DeviceNet Connector5 pin microconnnector
・DeviceNet Data Rate Switch Selection4 positions: 125, 250, 500K (Default), GM (programmable over the network)
・DeviceNet Network SizeUp to 64 nodes
・DeviceNet Network TopologyLinear (trunkline/dropline) power and signal on same network cable

価格帯 1万円以上 10万円未満
納期 1ヶ月以内
お問い合わせ

取扱企業

MKS Instruments

業種：産業用電気機器 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, MA 01810, United States 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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