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P2A

MKS Instruments
最終更新日: 2024年05月30日

高性能マスフローコントローラ

・Pシリーズでは、P2A(低圧対応、流量2~20sccm)、P4B(流量5~50,000sccm)、P9B(圧力対応タイプ、5~50,000sccm)、P250A(流量100~250slm)
・圧力変動に影響を受けにくいタイプ(P9B)あり
・メタルシールMFC
・マルチガス・マルチレンジ
・高温対応

基本情報

・Full Scale Flow Range 2 - 20 sccm (N2 equivalent)
・Inlet Pressure Range 4 - 1200 Torr (with vacuum at the outlet)
・Normal Operating Pressure Differential <10 Torr at Full Scale flow (with vacuum at the outlet)
・Burst Pressure 1500 psig
・Control Range 2 to 100% of Full Scale
・Typical Accuracy ±1% of set point for >10 to 100% Full Scale
±0.2% of Full Scale for 2 to 10% of Full Scale
・Repeatability 0.2% of Full Scale
・Resolution 0.1% of Reading
・Zero Temperature Coefficient ±0.08% of Full Scale /°C
・Span Temperature Coefficient ±0.08% of Reading/°C
・Typical Settling Time <2 sec. typical above 10% of Full Scale at inlet pressures >10 Torr
・Warm-up Time 30 minutes
・Operating Temperature 10 to 50°C
・Storage Humidity 0 to 95% Relative Humidity, non condensing
・Storage Temperature -20 to 65°C
・Temperature Display 0 to 100°C
・Temperature Accuracy ±2°C
・Temperature Resolution 0.1°C
・Display 4 digits for value, 4 characters for unit
・Fitting Type SwagelokR 4 VCRR
・External Leak Integrity <1x10 (scc/sec He)
・Leak Integrity Through Closed Valve <1.0% of FS at 25 psig to atmosphere
・Wetted Materials 316 S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy, KM-45, NiTi (Standard)
・Surface Finish 5 microinch average Ra
・Weight 2 lbs. (0.9 kg)
・Power Requirements 15-24 VDC ±5%VDC @ 350mA peak, 250 mA steady state
・Analog I/O Connector 9 pin "D" male or 15 pin "D" male
・Set Point Command Signal 0 to 5 VDC
・Flow Input Output Signal 0 to 5 VDC

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取扱企業

MKS Instruments

業種:産業用電気機器 2 Tech Drive、Suite 201 アンドーバー、MA 01810、アメリカ合衆国 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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