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GM100A

MKS Instruments
最終更新日: 2024年05月30日
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マルチレンジ・マルチガス対応デジタルマスフローコントローラ

・対応流量：50～100slm
・スラマー・プラグ／メタルシール
・対応通信規格　デジタル：EtherCAT, DeviceNet, Profibus, PROFINET、RS485／アナログ：(0-5 VDC or 4-20 mA) I/O
・コンダクタンス・リーク率が1％未満
・設定時間：750ms以下

基本情報

・Control Range 2% to 100% of Full Scale
・Full Scale Flow Range 50,000 - 100,000 sccm (N2 equivalent)
・Flow Input Output Signal
　Voltage: (0 to 5 VDC) 15 pin Type "D" male, 9 pin Type "D" male,
　Current: (4 to 20 mA) 15 pin Type "D" male
・Maximum Inlet Pressure 150 psig
・Normal Operating Pressure Differential 50,000 - 100,000 sccm; 40 to 80 psid
・Proof Pressure 1000 psig
・Burst Pressure 1500 psig
・Typical Accuracy ± 1% of set point for 20 to 100% Full Scale,
±0.2% of Full Scale for 2 to 20% Full Scale
・Repeatability ±0.3% of Reading
・Resolution 0.1% of Full Scale
・Zero Temperature Coefficient <0.05% of Full Scale/°C
・Span Temperature Coefficient <0.08% of Reading/°C
・Inlet Pressure Coefficient <0.02% of Reading/psi
・Typical Settling Time <750 msec., typical above 10% Full Scale
・Warm-up Time 30 minutes
・Operating Temperature 10°～50°C
・Storage Humidity 0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
・Storage Temperature -20° to 80°C
・External Leak Integrity <1 x 10-10 (scc/sec He)
・Leak Integrity Through Closed Valve <1.0% of Full Scale at 40 psig inlet to atmosphere
・Wetted Materials 316L Stainless Steel VAR, 316 Stainless Steel, Elgiloy, Nickel
・Surface Finish 10μ inch average Ra
・Weight 3 lbs (1.4 kg)
・Compliance CE

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取扱企業

MKS Instruments

業種：産業用電気機器 2 Tech Drive、Suite 201 アンドーバー、MA 01810、アメリカ合衆国 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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