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IP66-IM100A

MKS Instruments
最終更新日: 2020年05月13日
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IP66規格対応マルチガス・マルチレンジ対応メタルシール・100slmマスフローコントローラ

・IP66規格対応
・流量：50～100slm
・メタルシール、テフロン・バルブ・プラグの採用
・収拾時間750ms以下

基本情報

・フルスケール流量範囲 50,000 ～ 100,000 sccm (N2 相当)
・最大入口圧力 150 psig
・通常動作差圧 50,000 ～ 100,000 sccm; 40 ～ 80 psid (MFC 出口で大気圧の N2 フルスケール)
・耐圧 1000 psig
・破裂圧力 1500 psig
・制御範囲 フルスケールの 2% ～ 100%
・標準精度 20 ～ 100% フルスケールで設定値の ±1%
・2 ～ 20% フルスケールでフルスケールの ±0.2%
・再現性 読み取り値の ±0.3%
・分解能 フルスケールの 0.1%
・ゼロ温度係数 フルスケールの <0.05%/°C
・スパン温度係数 読み取り値の <0.08%/°C
・入口圧力係数 読み取り値の <0.02%/psi
・標準整定時間 <750 ミリ秒、フルスケールの 10% 以上で標準スケール
・ウォームアップ時間 30 分
・動作温度 10° ～ 50°C
・保管湿度 0 ～ 95% 相対湿度、結露なし
・保管温度 -20° ～ 80°C
・外部リーク完全性 <1 x 10-10 (scc/sec He)
・閉弁時のリーク完全性 <40 psig 入口で大気へのフルスケールの 1.0%
・接液材料 316L S.S. VAR、316 S.S.、ElgiloyR、ニッケル
・バルブシート材料 EPDM (クラス VI)、EPDM、VitonR (クラス VI)、Viton、Buna、またはネオプレン
・表面仕上げ 10μ インチ平均 Ra (電解研磨)
・重量 3 ポンド (1.4 kg)
・エンクロージャ定格IP66
・コンプライアンス CE
・電源要件 +15 ～ +24 VDC @ (<4 ワット)
・フロー入力出力信号 電圧: (0 ～ 5 VDC) 15 ピン タイプ "D" オス
・電流: (4 ～ 20 mA) 15 ピン タイプ "D" オス
・Profibus 入力電力要件 +15 ～ +24 VDC (<4 ワット)
・Profibus コネクタ 9 ピン タイプ D オス (電源)
9 ピン タイプ D メス (通信)
・Profibus データ レート スイッチ選択 Profibus 経由のデータ レートを設定 - 9.6 Kbps ～ 12 Mbps
・Profibus デジタル I/O ネットワーク サイズ最大 99 ノード
・Profibus MAC ID スイッチ アドレス 2 スイッチ、10 ポジション
・Profibus デジタル I/O ネットワーク トポロジ マスター/スレーブ

価格帯 1万円以上 10万円未満
納期 1ヶ月以内
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取扱企業

MKS Instruments

業種：産業用電気機器 2 Tech Drive、Suite 201 アンドーバー、MA 01810、アメリカ合衆国 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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