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IP66-IM100A

MKS Instruments
最終更新日: 2024年05月30日
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IP66規格対応マルチガス・マルチレンジ対応メタルシール・100slmマスフローコントローラ

・IP66規格対応
・流量：50～100slm
・メタルシール、テフロン・バルブ・プラグの採用
・収拾時間750ms以下

基本情報

・Full Scale Flow Range 50,000 to 100,000 sccm (N2 equivalent)
・Maximum Inlet Pressure 150 psig
・Normal Operating Pressure Differential 50,000 - 100,000 sccm; 40 to 80 psid (N2 Full Scale with atmospheric pressure at the MFC outlet)
・Proof Pressure 1000 psig
・Burst Pressure 1500 psig
・Control Range 2% to 100% of Full Scale
・Typical Accuracy ±1% of set point for 20 to 100% Full Scale
±0.2% of Full Scale for 2 to 20% Full Scale
・Repeatability ±0.3% of Reading
・Resolution 0.1% of Full Scale
・Zero Temperature Coefficient <0.05% of Full Scale/°C
・Span Temperature Coefficient <0.08% of Rdg./°C
・Inlet Pressure Coefficient <0.02% of Rdg./psi
・Typical Settling Time <750 msec., typical above 10% Full Scale
・Warm-up Time 30 minutes
・Operating Temperature 10° ～ 50°C
・Storage Humidity 0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
・Storage Temperature -20° to 80°C
・External Leak Integrity <1 x 10-10 (scc/sec He)
・Leak Integrity Through Closed Valve <1.0% of Full Scale at 40 psig inlet to atmosphere
・Wetted Materials 316L S.S. VAR, 316 S.S., ElgiloyR, Nickel
・Valve Seat Material EPDM (Class VI), EPDM, VitonR (Class VI), Viton, Buna, or Neoprene
・Surface Finish 10μ inch average Ra (electropolished)
・Weight 3 lbs (1.4 kg)
・Enclosure Rating IP66
・Compliance CE
・Power Requirements +15 to +24 VDC @ (<4 watts)
・Flow Input Output Signal Voltage: (0 to 5 VDC) 15 pin Type "D" male
Current: (4 to 20 mA) 15 pin Type "D" male
・Profibus Input Power Required +15 to +24 VDC (<4 watts)
・Profibus Connector 9 pin Type D male (power)
9 pin Type D female (comm.)
・Profibus Data Rate Switch Selection Set Data Rate via Profibus - 9.6 Kbps to 12 Mbps
・Profibus Digital I/O Network SizeUp to 99 nodes
・Profibus MAC ID Switches Addresses 2 switches, 10 positions
・Profibus Digital I/O Network Topology Master/slave

お問い合わせ

取扱企業

MKS Instruments

業種：産業用電気機器 2 Tech Drive、Suite 201 アンドーバー、MA 01810、アメリカ合衆国 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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