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IM50A

MKS Instruments
最終更新日: 2024年05月30日
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IP66規格対応マルチガス・マルチレンジ対応メタルシール・マスフローコントローラ

・流量：50～50,000 sccm
・テフロンバルブ付きメタルシール
・収拾時間は750ms以下
・コンダクタンス・リーク率が1％未満

基本情報

・Full Scale Flow Range 5 to 50,000 sccm (N2 equivalent)
・Maximum Inlet Pressure 150 psig
・Normal Operating Pressure Differential
　5 to 5000 sccm: 10 to 40 psid
　10000 to 20000 sccm: 15 to 40 psid
　30000 to 50000 sccm: 25 to 40 psid
・Proof Pressure 1000 psig
・Burst Pressure 1500 psig
・Control Range 2% to 100% of Full Scale
・Typical Accuracy ±1% of set point for 20 to 100% Full Scale
±0.2% of Full Scale for 2 to 20% Full Scale
・Repeatability ±0.3% of Reading
・Resolution 0.1% of Full Scale
・Zero Temperature Coefficient <0.05% of Full Scale/°C
・Span Temperature Coefficient <0.08% of Reading/°C
・Inlet Pressure Coefficient <0.02% of Reading/psi
・Typical Settling Time <750 msec., typical above 5% Full Scale
・Warm-up Time 30 minutes
・Operating Temperature 10° to 50°C
・Storage Humidity 0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
・Storage Temperature -20° to 80°C
・External Leak Integrity <1 x 10-10 (scc/sec He)
・Leak Integrity Through Closed Valve <1.0% of Full Scale at 40 psig inlet to atmosphere
・Wetted Materials 316L S.S. VAR, 316 S.S., ElgiloyR, Nickel
・Seal Material Viton, Buna-N, Neoprene, KalrezR, EPDM (Class VI), or Viton (Class VI)
・Surface Finish MFC: 10μ inch average Ra (electropolished)
・Weight 3 lbs (1.4 kg)
・Enclosure Rating IP66
・Compliance CE
・Power Requirements +15 to +24 VDC @ (<4 watts)
・Flow Input Output Signal 0 to 5 VDC
・Analog I/O Connector 15-pin Type "D" male, 9-pin Type "D" Male
・Profibus Input Power Required +15 to +24 VDC (<4 watts)
・Profibus Connector 9 pin Type D male (power) and 9 pin Type D female (comm.)
・Profibus Data Rate Switch Selection Set Data Rate via ProfibusR - 9.6 Kbps to 12 Mbps
・Profibus Digital I/O Network Size Up to 99 nodes
・Profibus MAC ID Switches Addresses Station Addresses 0,0 to 9,9
・Profibus Digital I/O Network Topology Master/slave

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取扱企業

MKS Instruments

業種：産業用電気機器 2 Tech Drive、Suite 201 アンドーバー、MA 01810、アメリカ合衆国 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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