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MKS Instruments
最終更新日: 2020年05月14日
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高性能圧力対応マルチガス／マルチレンジ　5sccm～50slmマスフローコントローラ

・Heのような軽いガスからSF6のような重いガスまで750ms以下の制御時間と1％内の高精度化を実現している。
・流量：5～50,000sccm
・内蔵した圧力センサを利用したPI機能を採
・Analog I/O: 0～5 VDC
・Digital I/O: DeviceNet, RS485

基本情報

・Full Scale Flow Range 5 to 50,000 sccm (N2 equivalent)
・Maximum Inlet Pressure 150 psig
・Normal Operating Pressure Differential
10 to 5000 sccm; 10 to 40 psid
10000 to 20000 sccm; 15 to 40 psid
10000 to 20000 sccm; 15 to 40 psid
(N2 Full Scale with atmospheric pressure at the MFC outlet)
・Proof Pressure 1000 psig
・Burst Pressure 1500 psig
・Control Range 2% to 100% of Full Scale
・Typical Accuracy ±1% of set point for 20-100% Full Scale
±0.2% of Full Scale for 2-20% Full Scale
・Repeatability ±0.3% of Reading
・Resolution 0.1% of Full Scale
・Zero Temperature Coefficient < 0.05% of Full Scale/°C
・Span Temperature Coefficient < 0.08% of Reading/°C
・Inlet Pressure Coefficient < 0.02% of Reading/psi
・Typical Settling Time < 750 msec., typical above 5% Full Scale
・Warm-up Time 30 minutes
・Operating Temperature 10° to 50°C
・Storage Humidity 0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
・Storage Temperature -20° to 80°C
・Temperature Display 0 to 100°C
・Temperature Accuracy ±2°C
・Temperature Resolution 0.1°C
・Display 4 digits for value, 4 characters for unit
・Pressure Display 0 to 100 psia
・Pressure Readout Unit spsia, kPA
・Pressure Accuracy 1% Full Scale
・Pressure Resolution 0.1 psia
・External Leak Integrity < 1 x 10-10 (scc/sec He)
・Leak Integrity Through Closed Valv e< 1.0% of Full Scale at 25 psig inlet to atmosphere
・Wetted Materials 316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy, KM-45
・Valve Seat Material PTFE (Teflon)
・Surface Finish 10μ inch average Ra
・Weight 3 lbs (1.4 kg)
・Compliance CE
・Attitude Insensitivity 0.25% of Full Scale for indicated zero, span and actual span
・Pressure Transient 5% of set point from 20 to 100% of Full Scale when subject to a 2 psi inlet pressure transient

価格帯 1万円以上 10万円未満
納期 1週間以内
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取扱企業

MKS Instruments

業種：産業用電気機器 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, MA 01810, United States 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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