カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
P9B
高性能圧力対応マルチガス／マルチレンジ 5sccm～50slmマスフローコントローラ
・Heのような軽いガスからSF6のような重いガスまで750ms以下の制御時間と1％内の高精度化を実現している。
・流量：5～50,000sccm
・内蔵した圧力センサを利用したPI機能を採
・Analog I/O: 0～5 VDC
・Digital I/O: DeviceNet, RS485
基本情報
・Full Scale Flow Range 5 to 50,000 sccm (N2 equivalent)
・Maximum Inlet Pressure 150 psig
・Normal Operating Pressure Differential
10 to 5000 sccm; 10 to 40 psid
10000 to 20000 sccm; 15 to 40 psid
10000 to 20000 sccm; 15 to 40 psid
(N2 Full Scale with atmospheric pressure at the MFC outlet)
・Proof Pressure 1000 psig
・Burst Pressure 1500 psig
・Control Range 2% to 100% of Full Scale
・Typical Accuracy ±1% of set point for 20-100% Full Scale
±0.2% of Full Scale for 2-20% Full Scale
・Repeatability ±0.3% of Reading
・Resolution 0.1% of Full Scale
・Zero Temperature Coefficient < 0.05% of Full Scale/°C
・Span Temperature Coefficient < 0.08% of Reading/°C
・Inlet Pressure Coefficient < 0.02% of Reading/psi
・Typical Settling Time < 750 msec., typical above 5% Full Scale
・Warm-up Time 30 minutes
・Operating Temperature 10° to 50°C
・Storage Humidity 0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
・Storage Temperature -20° to 80°C
・Temperature Display 0 to 100°C
・Temperature Accuracy ±2°C
・Temperature Resolution 0.1°C
・Display 4 digits for value, 4 characters for unit
・Pressure Display 0 to 100 psia
・Pressure Readout Unit spsia, kPA
・Pressure Accuracy 1% Full Scale
・Pressure Resolution 0.1 psia
・External Leak Integrity < 1 x 10-10 (scc/sec He)
・Leak Integrity Through Closed Valv e< 1.0% of Full Scale at 25 psig inlet to atmosphere
・Wetted Materials 316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy, KM-45
・Valve Seat Material PTFE (Teflon)
・Surface Finish 10μ inch average Ra
・Weight 3 lbs (1.4 kg)
・Compliance CE
・Attitude Insensitivity 0.25% of Full Scale for indicated zero, span and actual span
・Pressure Transient 5% of set point from 20 to 100% of Full Scale when subject to a 2 psi inlet pressure transient
取扱企業
MKS Instruments
業種：産業用電気機器 2 Tech Drive、Suite 201 アンドーバー、MA 01810、アメリカ合衆国
プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ
MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。
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