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P4B

MKS Instruments
最終更新日: 2020年05月14日
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次世代高性能マルチガス・マルチレンジ、5～50,000sccm マスフローコントローラ

P4Bは精度、反応速度などで厳密な制御が要求される分野に対応した次世代マルチガス／マルチレンジ・マスフローコントローラ。サイズも小型化の要求に対応したものとなっている。代マルチガス／マルチレンジのガスパラメータを内部に記憶させておけるため、高精度な設定を短時間で行うことができる。
・流量：5～50,000 sccm
・マルチガス/マルチレンジで1％のセットポイント
・Analog I/O: 0～5 VDC
・Digital I/O: DeviceNet, RS485

基本情報

・フルスケール流量範囲 5 - 50,000 sccm (N2 相当)
・最大入口圧力 150 psig
・通常動作差圧
　5 ～ 5000 sccm (10 ～ 40 psid)
10000 ～ 20000 sccm (15 ～ 40 psid)
30000 ～ 50000 sccm (25 ～ 40 psid)
・耐圧 1000 psig
・破裂圧力 1500 psig
・制御範囲 フルスケールの 2% ～ 100%
・標準精度 フルスケールの 20 ～ 100% の場合、設定値の ±1%
・フルスケールの 2 ～ 20% の場合、フルスケールの ±0.2%
・再現性 読み取り値の ±0.3%
・分解能フルスケールの 0.1%
・ゼロ温度係数 < フルスケールの 0.05%/°C
・スパン温度係数 < 読み取り値の 0.08%/°C
・入口圧力係数 < 読み取り値の 0.02%/psi
・標準整定時間 < 750 ミリ秒、フルスケールの 5% 以上で標準
・ウォームアップ時間 30 分
・動作温度 10° ～ 50°C
・保管湿度 0 ～ 95% 相対湿度、結露なし
・保管温度 -20° ～ 80°C
・温度表示 0 ～ 100°C
・温度精度 ±2°C
・温度分解能 0.1°C
・表示 4 桁 (値)、4 文字 (単位)
・外部リーク完全性 < 1 x 10 (scc/秒 He)
・バルブ閉時の漏れ完全性 大気への入口圧力 25 psig でフルスケールの 1.0% 未満
・接液部材質 316L ステンレス鋼 VAR、316 ステンレス鋼、Elgiloy、KM-45
・バルブシート材質 PTFE (テフロン)
・表面仕上げ 平均 Ra 10μ インチ
・重量 3 ポンド (1.4 kg)
・適合規格 CE
・電源要件 +15 ～ +24 VDC @ 最大 350mA
・アナログ I/O コネクタ 15 ピン タイプ "D" オス、9 ピン タイプ "D" オス
・フロー入力出力信号 l0 ～ 5 VDC

価格帯 1万円以上 10万円未満
納期 1ヶ月以内
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取扱企業

MKS Instruments

業種：産業用電気機器 2 Tech Drive、Suite 201 アンドーバー、MA 01810、アメリカ合衆国 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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