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IE250A

MKS Instruments
最終更新日: 2024年05月30日

IP66対応マルチガス・マルチレンジ、エラストマーシール100-250slmマスフローコントローラ

・流量:100~250slm
・シールとバルブプラグのオプション:Viton, Buna, Neoprene,EPDM
・収拾時間:1~2秒1 to 2 second settling time
・conductance leak rate:1.0%以下

基本情報

・Full Scale Flow Range 100 - 250 slm (N2 equivalent)
・Maximum Inlet Pressure 150 psig
・Normal Operating Pressure Differential 30 to 55 psid
・Burst Pressure 1500 psig
・Control Range 2% to 100% of Full Scale
・Typical Accuracy ±1% of set point for >20% to 100% Full Scale
±0.25% of Full Scale for 5% to 20% Full Scale
・Repeatability ±0.5% of Reading
・Resolution 0.1% of Reading
・Zero Temperature Coefficient <0.05% of Full Scale/℃
・Span Temperature Coefficient <0.08% of Rdg./°C
・Inlet Pressure Coefficient <0.03% of Reading
・Typical Settling Time 1 to 2 seconds typical above 10% Full Scale @ 50 psi
・Warm-up Time 1 hour
・Operating Temperature 10° -50°C
・Storage Humidity 0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
・Storage Temperature -20°~ 65°C
・External Leak Integrity <1 x 10-9 (scc/sec He)
・Leak Integrity Through Closed Valve <1.0% Full Scale at 40 psia to vac (<500 mTorr)
・Wetted Materials 316 S.S., 17-1 S.S., Elgiloy, 430FR (Standard)
・Seal MaterialViton (Class VI) or EPDM (Class VI)
・Surface Finish 16 μinch average Ra
・Weight 4.5 lbs. (2.05 kg)
・Enclosure Rating IP66
・Compliance CE
・Power Requirements +15 to +24 VDC @ (<4 watts)
・Flow Input Output Signal Voltage: 0 to 5 VDC
Current: 4 to 20 mA
・Analog I/O Connector Voltage: 15-pin Type "D" male
Current: 15-pin Type "D" male

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取扱企業

MKS Instruments

業種:産業用電気機器 2 Tech Drive、Suite 201 アンドーバー、MA 01810、アメリカ合衆国 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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