エピタキシャル成長装置の製品一覧

EPIREVO S8

株式会社ニューフレアテクノロジー

200㎜枚葉式SiCエピタキシャル成長装置

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AIX G5+C

Aixtron SE

150/200mm基板(Si/サファイア/SiC)上の先進GaNアプリケーション向け最新プラネタリーリアクターモジュール。生産性と性能を向上させています。

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