クリーンロボットの製品一覧

TSVCR3060N

株式会社ジェーイーエル

2インチウェーハ搬送対応3軸円筒座標型クリーンロボット

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SVCR3330s

株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット(サセプタ・トレイ搬送仕様)

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SVCR3260

株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型真空クリーンロボット

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JVCR4330

株式会社ジェーイーエル

マイクロLED用4軸真空水平多関節型クリーンロボット

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GTVHR5281

株式会社ジェーイーエル

5軸真空水平多関節型クリーンロボット

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GTVCR5330

株式会社ジェーイーエル

5軸真空水平多関節型クリーンロボット

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DTVHR4275-050-PM

株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型リンク式の高真空対応クリーンロボット

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