クリーンロボットの製品一覧
TSVCR3060N
株式会社ジェーイーエル
2インチウェーハ搬送対応3軸円筒座標型クリーンロボット
SVCR3330s
3軸円筒座標型クリーンロボット(サセプタ・トレイ搬送仕様)
SVCR3260
3軸円筒座標型真空クリーンロボット
JVCR4330
マイクロLED用4軸真空水平多関節型クリーンロボット
GTVHR5281
5軸真空水平多関節型クリーンロボット
GTVCR5330
DTVHR4275-050-PM
4軸円筒座標型リンク式の高真空対応クリーンロボット
関連用語
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