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GTVCR5330

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月21日
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5軸真空水平多関節型クリーンロボット

5軸真空水平多関節型クリーンロボット GTVCR5000シリーズ。アームバリエーションは280mmと330mmがあります。従来機GTVHR5000シリーズの性能、機能を維持したまま価格ダウンを実現。真空環境下の並列配置されたチャンバーステージへ搬送することができ、多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。それによりフットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与します。チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。また、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送できます。

基本情報

標準仕様（GTVCR5330-060-AMの代表的な仕様）
ロボット仕様
被搬送物 300 mmウェーハ
機械構造形式 水平多関節型
制御軸 5軸
モータタイプ 全軸ACサーボモータ
動作範囲 アーム第3関節中心：635 mm
旋回角度(θ軸)：360度
上下ストローク(Z軸)：60 mm
搬送速度（平均）アーム(R軸)：640 mm/sec
旋回角度(θ軸)：160度/sec
上下ストローク(Z軸)：60 mm/sec
搬送速度（最高）アーム(R軸)：950 mm/sec
旋回角度(θ軸)：200度/sec
上下ストローク(Z軸)：85 mm/sec
分解能 第1関節軸（J1軸）：0.00081度
第2関節軸（J2軸）：0.00081度
第3関節軸（J3軸）：0.00072度
第3関節軸（J5軸）：0.00072度
Z軸（J4軸）：0.98μm
搬送レベル 219 mm(フランジ取付面より上チャックの搬送面まで)
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン対策 磁性流体シール及びフィルタにより対策
耐真空度 1×10-6Pa
ユーティリティ 電源：単相AC200?230V 2 kVA 50/60Hz

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1週間以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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