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DTVHR4275-050-PM

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月16日
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4軸円筒座標型リンク式の高真空対応クリーンロボット

4軸円筒座標型リンク式の高真空対応クリーンロボットDTVHR4000シリーズのリンク構造は金属ベルト、ギア等を使用せず転動体により連結された構成のため、長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガスと20℃～50℃の環境での使用が可能です。
　リンク式採用による優れた直進性、低パーティクルを実現。さらにツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮を可能にしている。全軸2相ステッピングモータ使用、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送できるようにしている。真空シールには磁性流体シール及びベローズを使用している。

基本情報

被搬送物 　　～300 mmウェーハ
機械構造形式 円筒座標型（真空リンク式）
制御軸 4軸
モータタイプ 全軸2相ステッピングモータ
動作範囲 　ワーク中心到達距離：915 mm
　　　旋回角度(θ軸)：360度
　　　上下ストローク(Z軸)：50 mm
搬送速度（平均） アーム(R軸)：600 mm/sec
　　　　　　　旋回角度(θ軸)：170度/sec
　　　　　　　上下ストローク(Z軸)：40 mm/sec
搬送速度（最高） アーム(R軸)：900 mm/sec
　　　　　　　旋回角度(θ軸)：170度/sec
　　　　　　　上下ストローク(Z軸)：60 mm/sec
分解能 　　　　　アーム(R軸)：7µm以下
　　　　　　　旋回角度(θ軸)：0.00072度
　　　　　　　上下ストローク(Z軸)：0.2 µm
繰り返し精度 ±0.2 mm以内
搬送レベル 129.5 mm(フランジ取付面より上チャックの搬送面まで)
クリーン対策 磁性流体シールにより対策
ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 16A
コントローラ型式 C5000シリーズ
インタフェース RS232C及びパラレルフォトI/O

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1ヶ月以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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