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TSVCR3060N

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月21日
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2インチウェーハ搬送対応3軸円筒座標型クリーンロボット

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
当社標準比真空ロボットフットプリント65%（φ95 mm）, 容積比75%ダウン
アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能（ワーク中心距離は119mm）。アームバリエーションは60mm。

基本情報

被搬送物 2インチシリコンウェーハ
ウェーハ保持方式落とし込みによるラフガイド方式
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 3軸
モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ
動作範囲 アーム第3関節中心：±73 mm
旋回角度(θ軸)：360度
上下ストローク(Z軸)：20 mm
搬送速度(平均) アーム(R軸)：230 mm/sec
旋回角度(θ軸)：450度/sec
上下ストローク(Z軸)：40 mm/sec
搬送速度(最高) アーム(R軸)：350 mm/sec
旋回角度(θ軸)：550度/sec
上下ストローク(Z軸)：50 mm/sec
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン対策 磁性流体シール及びフィルタにより対策
耐真空度 1.33×10-6Pa
ユーティリティ 電源：DC24V±10% 4A
質量 ロボット本体 約7 kg

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1週間以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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