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GTVHR5281

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月21日
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5軸真空水平多関節型クリーンロボット

5軸真空水平多関節型クリーンロボット GTVHR5000シリーズ。アームバリエーションは 281mm、330mmがあり、アーム長281mmがGTVHR5281、アーム長330mmがGTVHR5330。
真空環境下の並列したトランスファチャンバでも搬送することができます。
多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与します。チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。
並列したステージへのアクセスが可能です(レイアウトのインライン化に最適)。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。
プロセスチャンバ内温度： 最大450℃
GTVHR5281のアームシングルアーム到達距離700 mm (リストブロック先端到達距離)、昇降距離60mm。GTVHR5330のアームシングルアーム到達距離660 mm (第3関節中心距離)、昇降距離60mm。

基本情報

被搬送物 ～300 mmウェーハ
機械構造形式 水平多関節型
制御軸 5軸
モータタイプ 全軸ACサーボモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離：922 mm
旋回角度(θ軸)：±360度
上下ストローク(Z軸)：60 mm
搬送速度 アーム(R軸)：756 mm/2.5 sec
旋回角度(θ軸)：180度/2.5 sec
上下ストローク(Z軸)：60 mm/1.0 sec
分解能 アーム(R軸)：0.00331度
旋回角度(θ軸)：0.00020度
上下ストローク(Z軸)：0.244 μm
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン対策 磁性流体シール及びフィルタにより対策
耐真空度 1.33×10-6Pa
ユーティリティ 電源：単相AC200V±10% 2 kVA

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1週間以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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