ポリッシングの製品一覧

FAM48BAW／SPAW

スピードファム株式会社

汎用片面研磨装置

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SM20B-5P-4D

スピードファム株式会社

300mm／200mm ウェーハ向け両面ポリッシュ装置

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SPM23

不二越機械工業株式会社

大口径、量産化対応200mmウェーハ対応片面ポリシングマシン

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USP-32BP

不二越機械工業株式会社

300mmウェーハ対応両面ポリッシング装置

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EMP-300

不二越機械工業株式会社

高品質、量産型枚葉式自動片面ポリシングマシン

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