RIEの製品一覧

TBN溶着継手用溶着機 PWM-120 Series

株式会社キッツエスシーティー

PFA製チューブおよびTBシリーズ継手を溶着する装置として、これまでの当社の溶着作業経験を反映した溶着機

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Si Deep RIE System(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

SPPテクノロジーズ株式会社

シリコン深掘り装置 

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ICPエッチング装置 RIE-800iP(SEMICON Japan 2020 Virtual出展製品)

株式会社サムコ

全てを進化させた次世代プロセス用装置

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ICPエッチング装置 RIE-400iPC(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

株式会社サムコ

小径ウエハ専用カセット装置

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サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series

株式会社堀場エステック

半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。

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超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series

株式会社堀場エステック

差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現していま…

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