RIEの製品一覧

Primo D-RIE
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
6~16nmのチップ製造に革新的なエッチングソリューションを提供する
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サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series
半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。
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超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series
差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現していま…
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