アッシング装置の製品一覧

ソリッドステートマイクロ波電源『300W』

東京計器株式会社

研究室での実験等に気軽に使用できるよう、冷却は空冷方式になり、ポータブルタイプで一人でも持ち運びができるようになっている。

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Lambda300

Kokusai Electric株式会社

ダメージレスなプラズマ処理と高速アッシングを実現した枚葉式アッシング装置

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Luminous NAシリーズ

株式会社アルバック

Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーの…

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