半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

G60K

ギガフォトン株式会社

従来の150%の高出力を実現し、将来のさらなる出力要求に対応するKrF露光用光源

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KABRA! Zen

株式会社ディスコ

SiCインゴットスライスを高速化、ウェーハ取り枚数を倍増

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メモリ・テスト・システム「T5835」

株式会社アドバンテスト

DRAMおよびNANDフラッシュの高速テストのスループット向上とテスト・コスト削減を可能にする

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メモリ・テスト・システム「T5221」

株式会社アドバンテスト

NANDフラッシュを含む不揮発性メモリIC向け、マルチ・プローバーに対応

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SoCテスト・システム V93000 EXA Scale

株式会社アドバンテスト

エクサスケール・コンピューティング時代の技術課題に応える最先端テスト・ソリューション

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メモリ・テスト・システム「H5620」

株式会社アドバンテスト

バーンインとメモリ・セル・テスト機能を兼ね備えた高生産性システム

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半導体製造向け精密チラー RJ-SA型

株式会社荏原製作所

小型かつ高出力で、サブファブスペースを効率的に利用可能なチラー

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湿式排ガス処理装置 G-WS型

株式会社荏原製作所

水溶性ガスを使用するプロセスに最適化された湿式排ガス処理装置

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CMP装置F-REX300XA

株式会社荏原製作所

荏原史上最高の生産性を実現した新型CMP装置

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VERTEXR Revolution/Ⅲ

Kokusai Electric株式会社

200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

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