半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

NTH20

川崎重工業株式会社

5軸水平多関節ロボット

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TTJ-10

川崎重工業株式会社

(テレスコピック機構採用)4軸構造水平多関節シングルアーム・ウェーハハンドリングロボット

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NTJ-10

川崎重工業株式会社

4軸構造水平多関節シングルアームロボット

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SEMISTAR-GEKKO VD31HQF

株式会社安川電機

4軸水平多関節ダブルアームロボット

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SEMISTAR-GEKKO VD31HDA

株式会社安川電機

4軸水平多関節シングルアームロボッ

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NSR S636E

ニコン株式会社

重ね合わせ精度とスループットを高レベルで両立したクリティカルレイヤー向けのArF液浸露光装置

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EPIREVO S8

株式会社ニューフレアテクノロジー

200㎜枚葉式SiCエピタキシャル成長装置

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MBM-3000

株式会社ニューフレアテクノロジー

2nmノード対応最先端マルチビームマスク描画装置

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DI4600

株式会社日立ハイテク

高性能暗視野式ウェーハ欠陥検査装置

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