半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品の製品一覧
半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール
LR/HR/UR シリーズ
株式会社アルバック
ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現し…
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CRシリーズVerB
株式会社アルバック
ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格（CE,cTUVus）を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、…
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RISE-300
株式会社アルバック
バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…
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ULHITETM NE-7800H
株式会社アルバック
FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料（強誘電体、貴金属、磁性膜等）のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…
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「半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品」の関連企業一覧
グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990…
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関連企業一覧
