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大気対応 AR-Wn180CL-5-TR-940

平田機工株式会社

多段装置に対応、300mmウェーハ搬送ロボット

UTM-R3700F

株式会社ダイヘン

6軸垂直多関節型ロボット(大気ロボット）

UTW-REH5500

株式会社ダイヘン

4軸円筒座標系高速ウェーハ搬送ロボット

ACTRANS UTC-R800

株式会社ダイヘン

旧MECS社UTC-800の復刻版

ACTRANS UT-AFX/W4000 シリーズ

株式会社ダイヘン

～300mmウエハ用高可搬モデル

●UTX/W-RF5500RW

株式会社ダイヘン

～300mmウエハ用防滴モデル

UT-AFX/W3000NM

株式会社ダイヘン

300mmウェーハ対応標準ロボット

UTVW-R2800H

株式会社ダイヘン

DDモータ採用で高精度動作が可能な真空ロボット

ACTRANS UT-VFX3000NM

株式会社ダイヘン

300mmウェーハ用シングルアーム真空ロボット

CENTRIS SYM3エッチング装置

Applied Materials,Inc

1x/10nmノード以降の大量生産用の重要なエッチングアプリケーションにおいて、世界トップクラスのウェーハ間の均一性を前例のないチップ内図形制…