神奈川県の製品一覧

UTM70B

株式会社アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプ

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UTM300

株式会社アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補…

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LR/HR/UR シリーズ

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現し…

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CRシリーズVerB

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格(CE,cTUVus)を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、…

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PFSシリーズ

株式会社アルバック

SiC プロセス等の高温での処理が必要な工程にマッチングさせた活性化アニール装置です。

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SOPHI-200/260

株式会社アルバック

最新技術を搭載した8、6、5インチのイオン注入装置

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IH-860DSIC

株式会社アルバック

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

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IMX-3500

株式会社アルバック

研究開発用中電流イオン注入装置

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SOPHI-400

株式会社アルバック

Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置

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SOPHI-30

株式会社アルバック

低加速・高濃度対応のイオン注入装置(中電流イオン注入装置)

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