神奈川県の製品一覧
UTM70B
株式会社アルバック
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプ
UTM300
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補…
LR/HR/UR シリーズ
ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現し…
CRシリーズVerB
ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格(CE,cTUVus)を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、…
PFSシリーズ
SiC プロセス等の高温での処理が必要な工程にマッチングさせた活性化アニール装置です。
SOPHI-200/260
最新技術を搭載した8、6、5インチのイオン注入装置
IH-860DSIC
高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。
IMX-3500
研究開発用中電流イオン注入装置
SOPHI-400
Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置
SOPHI-30
低加速・高濃度対応のイオン注入装置(中電流イオン注入装置)
「神奈川県」の関連企業一覧
サクセスインターナショナル 株式会社
サクセス インターナショナル 社は 半導体 を中核とし、電気電子全般にわたる 設計/開発/製造/品質管理 の技術課題 と 経営に関わる諸問題 の コ…
芝浦メカトロニクス 株式会社
当社グループは、長年培ってきたコア技術(精密メカトロニクス、洗浄、真空、成膜、エッチング、貼り合せなど)を結集して、フラットパネルディ…
キヤノンアネルバ 株式会社
キヤノンアネルバは超高真空技術を用いた高付加価値製品を提供することで、社会の発展に貢献してまいります。
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