神奈川県の製品一覧

CS-200

株式会社アルバック

ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。

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ACS-4000

株式会社アルバック

コンパクトスパッタACS-4000は、多層膜や化合物薄膜の研究開発用途として、パソコンによるプロセス自動化と4インチ基板対応を可能にしました。

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SME-200

株式会社アルバック

プロセス室を複数搭載可能(最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200)なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

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ULDiSシリーズ

株式会社アルバック

光学膜用スパッタリング装置 ULDiSシリーズは、メタモードの技術を進化させたデジタルスパッタ装置で、より高品位の光学膜を実現します。米国JDS…

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SXシリーズ

株式会社アルバック

 バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置で…

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SVシリーズ

株式会社アルバック

バッチ式スパッタリング装置

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SRHシリーズ

株式会社アルバック

裏面・実装用スパッタリング装置

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MLX-3000N

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX-3000Nは、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパフォーマンスを達成した半導体向け成膜…

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UTM300

株式会社アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補…

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UTM70B

株式会社アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプ

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