半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

NLD-5700

株式会社アルバック

オプトデバイス、MEMS向けNLDエッチング装置

NLD-570

株式会社アルバック

研究開発向けNLDドライエッチング装置

NE-5700/NE-7800

株式会社アルバック

量産用ドライエッチング装置

APIOS NE-950EX

株式会社アルバック

LED向け量産専用ドライエッチング装置

NE-550EX

株式会社アルバック

研究開発向け高密度プラズマエッチング装置

CE-L

株式会社アルバック

小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。

Luminous NAシリーズ

株式会社アルバック

Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーの…

CC-200/400

株式会社アルバック

ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400は、小型で使いやすく、研究開発から生産までに対応した装置です。

CME-200/400

株式会社アルバック

枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。

CMDシリーズ

株式会社アルバック

CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。