半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

LR/HR/UR シリーズ

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現し…

CRシリーズVerB

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格（CE,cTUVus）を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、…

PFSシリーズ

株式会社アルバック

SiC プロセス等の高温での処理が必要な工程にマッチングさせた活性化アニール装置です。

SOPHI-200/260

株式会社アルバック

最新技術を搭載した8、6、5インチのイオン注入装置

IH-860DSIC

株式会社アルバック

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

IMX-3500

株式会社アルバック

研究開発用中電流イオン注入装置

SOPHI-400

株式会社アルバック

Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置

SOPHI-30

株式会社アルバック

低加速・高濃度対応のイオン注入装置（中電流イオン注入装置）

RISE-300

株式会社アルバック

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…

ULHITETM NE-7800H

株式会社アルバック

FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料（強誘電体、貴金属、磁性膜等）のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…