京都府の製品一覧

SS-3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

処理チャンバの積層化により最大8チャンバを搭載可能

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SU-3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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SU2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現

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SU3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応

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SS-80EX

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ

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LT3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

レーザアニール装置。超低サーマルバジェット。サブマイクロ秒オーダーでウェーハ最表面のみのメルトアニールを実現。

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LA-3000-F

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ウルトラシャロージャンクション形成を可能に

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DW-3000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

3次元実装、バンプ、ピラー形成に最適な後工程用直接描画装置

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DW-6000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

優れた生産性と高解像度露光を両立した大型パネル用直接描画露光装置

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Purion XE

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

高エネルギーイオン注入装置(Axcelis Technologies社製)

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