イオン注入装置の製品一覧
Viista3000XP
Applied Materials,Inc
高エネルギーイオン注入措置
ViiSTA900 3D
2xnmノード以降の量産向け中電流イオン注入装置
Viista900 XP
高生産性中電流イオン注入装置
ViiSTA HCP
高生産性高電流イオン注入装置
Viista Trident
最先端プロセス向け高電流イオン注入装置
Purion XE
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
高エネルギーイオン注入装置(Axcelis Technologies社製)
Purion H
高電流イオン注入装置(Axelis Technlologies社製品)
Purion M
中電流イオン注入装置(Axcelis Technolgies社製品)
関連用語
関連特集
「イオン注入装置」の関連企業一覧
住友重機械イオンテクノロジー 株式会社
NOVA、Axcelis Technologyとの合弁を解消、住友重機械工業の100%子会社として活動している。高電流装置は国内大手メーカに納入実績を残している…
関連企業一覧
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