ステージの製品一覧

SA/SL Series

住友重機械工業株式会社

露光・高精度検査装置用XYステージ

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CA-230

住友重機械工業株式会社

真空エアサーボステージ

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新型高速レビューSEM「CR7300」(MEMS展、SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

株式会社日立ハイテク

新設計の電子光学系を搭載したことで従来よりも高解像な撮像が可能となり、またステージ制御の改良によってSEM画像撮像までの時間を短縮すること…

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