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新型高速レビューSEM「CR7300」（MEMS展、SEMICON Japan 2020 Virtual出展）
新設計の電子光学系を搭載したことで従来よりも高解像な撮像が可能となり、またステージ制御の改良によってSEM画像撮像までの時間を短縮すること…
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