半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

半導体、FPD装置向けFFU (Fan filter Unit)

株式会社世奉

創造的な考えと情熱、革新と挑戦でより良い未来を開きます。

Vision LEAP Loadport

Brooks Automation Inc.

同社の最新ロードポート

Spartan Sorter

Brooks Automation Inc.

高信頼性・高生産性のEFEM/ソータ―

EFEM・ソータ

PHT株式会社

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。

Freedomシリーズ

平田機工株式会社

実績多数 高スループットで微細化、N2パージ対応EFEM／ソータ

FOUPロードポートTAS300

TDK株式会社

徹底したクリーン化性能、信頼性設計を実現したロードポー

SELOP-8

シンフォニアテクノロジー株式会社

1xnmプロセス対応のN2パージ機構搭載ロードポート

「ACE」シリーズ

ローツェ株式会社

EFEM／ソーター