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［XPS］X線光電子分光法

財団法人材料科学技術振興財団

Ｘ線照射により放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）に存在する元素の種類・存在量・化学結合状態に関す…

［UPS］紫外光電子分光法

財団法人材料科学技術振興財団

紫外光照射により放出される電子の運動エネルギー分布を測定し、試料極表面（数nm程度以下）の価電子状態に関する知見を得る手法です。

［HAXPES］硬X線光電子分光法

財団法人材料科学技術振興財団

XPS（X線光電子分光）の励起光に硬X線を用いた分析手法で、ダメージレスな界面の結合状態評価を行うことができます。