検査の製品一覧
欠陥形状評価SEM 「CT1000」（MEMS展,SEMICON Japan 2020 Virtual 出展）
、8インチ（直径200mm）以下のウェーハ上のパターン形状や製造工程中に発生する欠陥の三次元観察を可能とし、観察対象の構成元素推定機能を搭載…
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