SEMIの製品一覧

Si Deep RIE System(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

SPPテクノロジーズ株式会社

シリコン深掘り装置 

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ICPエッチング装置 RIE-800iP(SEMICON Japan 2020 Virtual出展製品)

株式会社サムコ

全てを進化させた次世代プロセス用装置

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ICPエッチング装置 RIE-400iPC(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

株式会社サムコ

小径ウエハ専用カセット装置

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プラズマALD装置 AD-230LP(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

株式会社サムコ

電子デバイスの絶縁膜、パッシベーション膜に

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TANDUO(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

Kokusai Electric株式会社

プロセスに応じたモジュール選択により、キュア、アニール、デガス等に合わせた最適なシステムを提供する事ができます。

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新型高速レビューSEM「CR7300」(MEMS展、SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

株式会社日立ハイテク

新設計の電子光学系を搭載したことで従来よりも高解像な撮像が可能となり、またステージ制御の改良によってSEM画像撮像までの時間を短縮すること…

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欠陥形状評価SEM 「CT1000」(MEMS展,SEMICON Japan 2020 Virtual 出展)

株式会社日立ハイテク

、8インチ(直径200mm)以下のウェーハ上のパターン形状や製造工程中に発生する欠陥の三次元観察を可能とし、観察対象の構成元素推定機能を搭載…

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プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会

公益社団法人精密工学会

プラナリゼーションCMPとその応用技術の発展を目指す

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SEMISTAR-M101

株式会社安川電機

3軸水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット

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SEMISTAR-M201

株式会社安川電機

4軸水平多関節双腕ウェーハハンドリングロボット

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