半導体用語集
ISSM(半導体製造国際シンポジウム)
英語表記:International Symposium on Semiconductor Manufacturing
1992年、“ノウハウをサイエンスに”を目指した半導体製造に関する国際シンポジウムとして、UCS(Ultra Clean Society)半導体基盤技術研究会、IEEE、SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)の三者の共催によってスタートした。
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