半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

CENTURA ISPRINT ALD/CVD SSW

Applied Materials,Inc

金属コンタクト用高精度成膜装置

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Synergis ALD

ASM International NV

8つの枚葉式チャンバ搭載可能な高生産性装置

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Pulsar XP

ASM International NV

HKMGスタック形成対応ALD装置

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EmerALD XP

ASM International NV

HKMG量産に対応したALD装置

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CENTURA ULTIMA HDP-CVD

Applied Materials,Inc

数世代にわたって実用性が証明された、業界をリードするCVD装置

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Dragon XP8

ASM International NV

8チャンバまで搭載可能な量産対応300mmウェーハプラズマCVD

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VECTOR Family

Lam Research

高生産性と低コストを維持しながらも、幅広いプロセスアプリケーションに対応出来る柔軟性を持ったプラズマCVD装置

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Reliant Deposition

Lam Research

MEMS、パワーチップ、RFフィルタ、CMOSイメージセンサー等の新分野にも対応したプラズマCVD装置

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Centura DxZ CVD

Applied Materials,Inc

先進のMEMS、パワーデバイス、パッケージング市場での製造を支援する200mmウェーハ対応プラズマCVD装置

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真空環境におけるアウトガス分析

株式会社住化分析センター

『真空環境下で材料から発生するアウトガスを定性・定量』

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