半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧
サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series
半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。
詳細を確認する超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series
差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現していま…
詳細を確認するケミカルドライエッチング装置「CDE-80R」
プラズマダメージの無いエッチングが可能な、等方性のエッチング装置です。SiコーナーラウンディングやSiスムージングを得意とし、3インチから8…
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グローバルネット株式会社(GNC)は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990…
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