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CME-200/400

株式会社アルバック

枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。

CMDシリーズ

株式会社アルバック

CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。

CS-L

株式会社アルバック

　実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自由な…

CS-200

株式会社アルバック

ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。

ACS-4000

株式会社アルバック

コンパクトスパッタACS-4000は、多層膜や化合物薄膜の研究開発用途として、パソコンによるプロセス自動化と4インチ基板対応を可能にしました。

SME-200

株式会社アルバック

プロセス室を複数搭載可能（最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200）なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

ULDiSシリーズ

株式会社アルバック

光学膜用スパッタリング装置 ULDiSシリーズは、メタモードの技術を進化させたデジタルスパッタ装置で、より高品位の光学膜を実現します。米国JDS…

SXシリーズ

株式会社アルバック

　バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置で…

SVシリーズ

株式会社アルバック

バッチ式スパッタリング装置

SRHシリーズ

株式会社アルバック

裏面・実装用スパッタリング装置