熊本県の製品一覧
真空対応 AR-Wnシリーズ:AR-Wn220VDCL-4-T-100
平田機工株式会社
300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用高真空・高精度・高速動作・高信頼でアームバリエーションも豊富
真空対応 AR-Wnシリーズ
AR-Wnシリーズは300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用。高真空 高精度、高速動作、高信頼で、シングルアーム「AR-Wn170VHCL-3-S」、ツインアーム「AR-Wn170…
Freedomシリーズ
実績多数 高スループットで微細化、N2パージ対応EFEM/ソータ
AR-Wn230CL
軽量化・省スペース、高速搬送を実現。450mm ウェーハ搬送大気ロボット
AR-Wn180CL-4-T-330
300mmウェーハ対応大気搬送ロボット
大気対応 AR-Wn180CL-5-TR-940
多段装置に対応、300mmウェーハ搬送ロボット
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平田機工 株式会社
半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれ…
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