熊本県の製品一覧

Freedomシリーズ
平田機工株式会社

実績多数 高スループットで微細化、N2パージ対応EFEM/ソータ

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軽量化・省スペース、高速搬送を実現。450mm ウェーハ搬送大気ロボット

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真空対応 AR-Wnシリーズ
平田機工株式会社

AR-Wnシリーズは300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用。高真空 高精度、高速動作、高信頼で、シングルアーム「AR-Wn170VHCL-3-S」、ツインアーム「AR-Wn170…

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AR-Wn180CL-4-T-330
平田機工株式会社

300mmウェーハ対応大気搬送ロボット

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大気対応 AR-Wn180CL-5-TR-940
平田機工株式会社

多段装置に対応、300mmウェーハ搬送ロボット

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真空対応 AR-Wnシリーズ:AR-Wn220VDCL-4-T-100
平田機工株式会社

300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用高真空・高精度・高速動作・高信頼でアームバリエーションも豊富

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