アスペクト比の製品一覧
CuI を原料とする選択CVD 法によるShallow-trench 上へのCu 成長
グローバルネット株式会社
茨城大院、宮本 裕
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異種チップレット三次元集積のためのダイレベル3D-IC 作製技術
グローバルネット株式会社
東北大院工、申 家屹
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SOI SiSi 薄膜SOI MEMS用基板ウエハー ファウンドリーサービス
100-200mmの貼付ウエハー（SOI,SiSi）や誘電体分離や高アスペクト比の深いトレンチエッチなどカスタム品を提供します
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