ウェーハの製品一覧
Signatone社製プローブステーション『H-150』
阪和トレーディング株式会社
Signatone 社製 小型、エコノミーモデル。
Signatone社製プローブステーション『WL-1160』
世界中の先端研究所、企業現場で評価、採用されているSignatone 社プローバのエントリーモデル
レーザー干渉計 Qualifire™
アメテック株式会社
最新型レーザー干渉計 QUALIFIREは複数の機能強化を実現しながら装置の軽量化も同時に実現した最新型のZYGOのレーザー干渉計です。
Signatone社製プローブステーション『WL-210』
世界中の先端研究所、企業現場で採用されているSignatone 社ベストセラーモデル。
シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置
PHT株式会社
ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。
EFEM・ソータ
クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。
枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置
キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置
ウェーハ搬送装置
キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置
ウェーハカセットチェンジャー
ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4
本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
関連用語
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エイチエスティ・ビジョン 株式会社
1986年マシンビジョンのグレースケール画像で素早く正確にパターンを検出する「サーチ」と呼ばれるソフトウエアツールが開発されました。当社が…
PHT 株式会社
PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。 特徴 PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機…
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