クリーンロボットの製品一覧
STCR4160SN
株式会社ジェーイーエル
薄物ウェーハ及びウェーハ周辺接触吸着対応4軸円筒座標型クリーンロボット
クローズドループ制御4軸円筒座標型クリーンロボット
STCR4160S
サセプタ・トレイ搬送仕様4軸円筒座標型クリーンロボット
ツインアーム反転機構付4軸円筒座標型クリーンロボット
4軸円筒座標型クリーンロボット
STCR4130S
STCR4100S
SSCR3115N
小径ウェーハ用3軸円筒座標型クリーンロボット
SSCR3090S
SSCR2090S
小径ウェーハ用2軸極座標型クリーンロボット
関連用語
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