クリーンロボットの製品一覧

STCR4160SN

株式会社ジェーイーエル

薄物ウェーハ及びウェーハ周辺接触吸着対応4軸円筒座標型クリーンロボット

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STCR4160SN

株式会社ジェーイーエル

クローズドループ制御4軸円筒座標型クリーンロボット

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STCR4160S

株式会社ジェーイーエル

サセプタ・トレイ搬送仕様4軸円筒座標型クリーンロボット

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STCR4160S

株式会社ジェーイーエル

ツインアーム反転機構付4軸円筒座標型クリーンロボット

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STCR4160S

株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット

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STCR4130S

株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット

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STCR4100S

株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット

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SSCR3115N

株式会社ジェーイーエル

小径ウェーハ用3軸円筒座標型クリーンロボット

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SSCR3090S

株式会社ジェーイーエル

小径ウェーハ用3軸円筒座標型クリーンロボット

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SSCR2090S

株式会社ジェーイーエル

小径ウェーハ用2軸極座標型クリーンロボット

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