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STCR4160S

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月22日
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ツインアーム反転機構付4軸円筒座標型クリーンロボット

薄物等の吸着で保持することが困難なウェーハの搬送ができます。反転軸を設けることにより、ウェーハの表裏を装置側で反転させるステージなしでの反転ができます。ベルヌーイチャックを使用しているため、処理ステージにあるウェーハを上面側から取り出すことができます。
ツインアームタイプで両アームともに反転機構付きです。アームの到達距離315mm (第3関節中心距離)。昇降距離は200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm。可搬質量はアーム第3関節換算3kgの高剛性を実現しています。
ステッピングモータを採用し、消費電力を抑えた省エネ設計となっています。

基本情報

リストブロック SART08674
チャック ベルヌーイチャック
被搬送物 150 mm, 200 mmウェーハ
ウェーハ保持方式サイクロンパッドによる吸引とフリクションゴムによる保持(接触部材質は各種製作可能)
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 4軸
モータタイプ ステッピングモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離：640 mm
旋回角度(θ軸)：340度
上下ストローク(Z軸)：300 mm
搬送速度(平均) アーム(R軸)：500 mm/sec
旋回角度(θ軸)：180度/sec
上下ストローク(Z軸)：200 mm/sec
搬送速度(最高) アーム(R軸)：1230 mm/sec
旋回角度(θ軸)：300度/sec
上下ストローク(Z軸)：250 mm/sec
クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時)
ユーティリティ 電源：DC24V±10% 16A
正圧エア ：60SLM以上×2系統 0.1?0.3 MPa
質量 ロボット本体 約30 kg

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1週間以内
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取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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