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SSCR3090S

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月22日
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小径ウェーハ用3軸円筒座標型クリーンロボット

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットSSCR3090Sシリーズ。シングルアームタイプで、到達距離175mm (第3関節中心距離)、昇降距離150mm、可搬質量0.1kg以下(ワークのみ) (第3関節換算)
小フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小型ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更可能となっています。
全軸2相ステッピングモータを使用しており、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送がかのうになっています。
ウェーハ保持は真空吸着、落し込み。チャックの材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能となっています。

基本情報

ロボット型式 SSCR3090S-PM
リストブロック SSARS07846
チャック 3D-08156
被搬送物 ～100 mmウェーハ
ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 3軸
モータタイプ 全軸ステッピングモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離：300 mm（リンクアーム仕様）
旋回角度(θ軸)：370度
上下ストローク(Z軸)：150 mm
搬送速度(平均) アーム(R軸)：220 mm/sec
旋回角度(θ軸)：180 度/sec
上下ストローク(Z軸)：120 mm/sec
搬送速度(最高) アーム(R軸)：330 mm/sec
旋回角度(θ軸)：280度/sec
上下ストローク(Z軸)：160 mm/sec
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン度 ISOクラス2（駆動部排気時）
ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 4A
真空：-53 kPa以上

価格帯 10万円以上 50万円未満
納期 1週間以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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