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STCR4160S

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月22日
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4軸円筒座標型クリーンロボット

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。ツインアームタイプで、ウェーハ交換時間を短縮できます。到達距離315 mm (第3関節中心距離)。アームバリエーションは100mm, 130mm, 160mm, 200mm。昇降距離は200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm。可搬質量3 kg (第3関節換算)。
EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能です
全軸2相ステッピングモータを使用、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送できる。
ウェーハ保持は、真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャックに対応します。チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応が可能となっています。

基本情報

ロボット型式 STCR4160S-300-PM
リストブロック SART08674
チャック SC-YW-240
被搬送物 ～300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 4軸
モータタイプ ステッピングモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離：575 mm
旋回角度(θ軸)：340度
上下ストローク(Z軸)：300 mm
搬送速度(平均) アーム(R軸)：570 mm/sec
旋回角度(θ軸)：220度/sec
上下ストローク(Z軸)：200 mm/sec
搬送速度(最高) アーム(R軸)：1140 mm/sec
旋回角度(θ軸)：270度/sec
上下ストローク(Z軸)：250 mm/sec
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時)
ユーティリティ 電源：DC24V±10% 16A
真空：-53 kPa以上
質量 ロボット本体 約30 kg
コントローラ仕様

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1ヶ月以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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