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STCR4160SN

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月22日
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クローズドループ制御4軸円筒座標型クリーンロボット

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300 mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。アームバリエーションは100mm, 130mm, 160mm, 200mm。可搬重量はアーム第3関節換算3 kg。
急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上させています。疑似多軸仕様となっています。走行軸なしで並列配置されたチャンバーステージへ搬送することができます。
アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮しています。また、バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載しています。従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能となっています。
装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能
ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）

基本情報

被搬送物 ～300 mmウェーハ
（その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します）
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 4軸
モータタイプ ステッピングモータ（クローズドループ）
動作範囲 ワーク中心到達距離：575 mm
旋回角度(θ軸)：340度
上下ストローク(Z軸)：300 mm
搬送速度(平均) アーム(R軸)：570 mm/sec
旋回角度(θ軸)：220 度/sec
上下ストローク(Z軸)：200 mm/sec
搬送速度(最高) アーム(R軸)：1140 mm/sec
旋回角度(θ軸)：270度/sec
上下ストローク(Z軸)：250 mm/sec
分解能 アーム(R軸)：10.0 μm以下
旋回角度(θ軸)：0.0015度
上下ストローク(Z軸)：2.0 μm
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時)
ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 10A
真空：-53 kPa以上

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1週間以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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