半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

FC7100

キヤノンアネルバ株式会社

当社独自のスパッタリング技術によるダメージレス・メタルゲート量産用のφ300mm対応クラスター式スパッタリング装置

Endura Cirrus RT PVD Cobalt

Applied Materials,Inc

Co薄膜形成用PVDシステム

ENDURA AMBER PVD

Applied Materials,Inc

Cuシード層形成用PVD装置

AXCELA PVD

Applied Materials,Inc

200mm/300mmウェーハ対応配線用量産スパッタリング装

ENDURAR AVENIR RF PVD

Applied Materials,Inc

Endura AvenirシステムのRF PVD技術は、High-k／メタルゲートアプリケーションと同様、22nm世代以降のロジックコンタクトのシリサイド化にも適応…

原子拡散接合タイプ常温接合装置

株式会社ムサシノエンジニアリング

基礎研究の用途から量産まで、幅広い用途での装置設計が可能

表面活性化接合タイプ常温接合装置

株式会社ムサシノエンジニアリング

基礎研究の用途から量産まで、幅広い用途での装置設計が可能