チャンバの製品一覧

4、6インチウエハ向け洗浄装置
グローバルネット株式会社

注目

両面の水洗浄が可能な4、6インチウエハ向け洗浄装置

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ヒートパイプとベイパーチャンバーの市場規模、シェア、成長、メーカー 2033年

KD Market Insights Private Limited

ヒートパイプとベーパーチャンバーの世界市場規模は、2033年までに59億米ドルの成長が予測されています。

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ENTRON N300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置

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ENTRON-EX2 W300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。

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ULHITETM NE-7800H

株式会社アルバック

FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料(強誘電体、貴金属、磁性膜等)のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…

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SME-200

株式会社アルバック

プロセス室を複数搭載可能(最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200)なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

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MLX-3000N

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX-3000Nは、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパフォーマンスを達成した半導体向け成膜…

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水冷回路 自動調芯ブラインドメイト仕様 ノンスピルカップリング『CGD』

ストーブリ株式会社

チャンバーLIDやテストハンドラの水冷に適した、最大±1mmの芯ずれを補正するブラインドメイト仕様(ロック機構なし)のコネクタです。 コネクタ…

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Synergis ALD

ASM International NV

8つの枚葉式チャンバ搭載可能な高生産性装置

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Dragon XP8

ASM International NV

8チャンバまで搭載可能な量産対応300mmウェーハプラズマCVD

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