洗浄の製品一覧
FC-3100
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
最適な洗浄プロセスに応える進化形
FC-821L
ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置
CW2000
フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置
CW1500
省スペース、低価格のバッチ式自動洗浄装置
SU-3300
SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集
SS3200
最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現
SS-3100
処理チャンバの積層化により最大8チャンバを搭載可能
SU-3200
12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現
SU2000
ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現
SU3100
FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応
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