半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

真空対応 AR-Wnシリーズ：AR-Wn220VDCL-4-T-100

平田機工株式会社

300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用高真空・高精度・高速動作・高信頼でアームバリエーションも豊富

UTVW-R2800H

株式会社ダイヘン

DDモータ採用で高精度動作が可能な真空ロボット

ACTRANS UT-VFX3000NM

株式会社ダイヘン

300mmウェーハ用シングルアーム真空ロボット

MagnaTranR 7 BiSymmetrik (MAG 7 B)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールのハイ スループット アプリケーション向け搬送ロボット

MagnaTranR 7 Frogleg (MAG 7 F)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツール アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

MagnaTran 7 Leapfrog (MAG 7 X)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールでスループットのきわめて高いアプリケーション向けのデュアル アーム同側ウエハー搬送ロボット

MagnaTran 7 SCARA (MAG 7)

Brooks Automation Inc.

高いリーチ/コンテインメント率を必要とする真空アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

MagnaTranR 8 QuadraFly

Brooks Automation Inc.

ハイ スループットの小型コンテインメント アプリケーションで 4 枚のウエハーを真空で同時に交換

MagnaTran 8 Radius

Brooks Automation Inc.

積載量が大きく、コンテインメントが小さいアプリケーション向けの高速ウェーハ切り替え真空ロボット