真空ロボットの製品一覧

RR493L180

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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RR492L400

ローツェ株式会社

2つのフロッグレッグアームを持つ真空ロボット

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RR481L300

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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RR491L300

ローツェ株式会社

フロッグレッグアーム真空ロボット。シングルアームタイプ

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RR493L200

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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RR493L230

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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SR8608

ニデックインスツルメンツ株式会社

2アームＸ2エンドエフェクタの高スループット真空ロボット

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UTVW-R2800H

株式会社ダイヘン

DDモータ採用で高精度動作が可能な真空ロボット

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ACTRANS UT-VFX3000NM

株式会社ダイヘン

300mmウェーハ用シングルアーム真空ロボット

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