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真空対応 AR-Wnシリーズ

平田機工株式会社

AR-Wnシリーズは300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用。高真空 高精度、高速動作、高信頼で、シングルアーム「AR-Wn170VHCL-3-S」、ツインアーム「AR-Wn170…

RR493L300

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

RR493L180

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

RR492L400

ローツェ株式会社

2つのフロッグレッグアームを持つ真空ロボット

RR481L300

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

RR491L300

ローツェ株式会社

フロッグレッグアーム真空ロボット。シングルアームタイプ

RR493L200

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

RR493L230

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

SR8608

ニデックインスツルメンツ株式会社

2アームＸ2エンドエフェクタの高スループット真空ロボット

UTVW-R2800H

株式会社ダイヘン

DDモータ採用で高精度動作が可能な真空ロボット