はの製品一覧

ESA型

株式会社荏原製作所

ESA型は、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、負荷に応じた回…

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ESR型

株式会社荏原製作所

ESR型は、ロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価…

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EST型

株式会社荏原製作所

EST型は、反応副生成物が形成されるCVD等向けにスクリュー形ロータを採用し、許容流入ガス量増大・耐食性能・排気速度可変機能・通信機能等の付…

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テストウェハー/Test wafer

株式会社ベクトルジャパン

取扱サイズ/size:φ6″,φ8″,φ12″

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SA/SL Series

住友重機械工業株式会社

露光・高精度検査装置用XYステージ

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Versys Metalシリーズ

Lam Research

困難なエッチング作業に対応できるよう、ラムリサーチの Versys Metal シリーズは柔軟性が高いプラットフォームの上に構築され、高い生産性を実…

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Kiyoシリーズ

Lam Research

ラムリサーチのKiyoシリーズは、導電体を精密かつ高い再現性で形成できる高機能でかつ高生産性を発揮します。用途によっては当社のReliantRシリ…

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FLEXシリーズ

Lam Research

重要絶縁膜エッチ工程のために差別化された技術とアプリケーションを提供する装置

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縦型熱処理装置AVP/RVP/RVP-30

SPPテクノロジーズ株式会社

子会社SPT Microtechnologies USA社製品

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圧縮成型用液状材料(LMC) T693/R4000 series

ナガセケムテックス株式会社

半導体封止用エポキシ樹脂

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