ESの製品一覧

超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series

株式会社堀場エステック

差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現していま…

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卓上型マルチワイヤーボンダー(ボール&ウエッジ兼用型) 7KE(WESTBOND社製)

ハイソル株式会社

ボールボンディング、ウエッジボンディング、バンプボンディング、リボンボンディング、TABボンディング等、あらゆるボンディングに対応した卓上…

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エポキシダイボンダー 7200CR(WESTBond社製)

ハイソル株式会社

接着材(銀ペースト、エポキシ材、UV硬化樹脂等)のディスペンス、スタンピング及びチップピックアップを行うことができる、研究開発及び少量多…

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Purion XE

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

高エネルギーイオン注入装置(Axcelis Technologies社製)

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Purion H

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

高電流イオン注入装置(Axelis Technlologies社製品)

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Purion M

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

中電流イオン注入装置(Axcelis Technolgies社製品)

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IH-860DSIC

株式会社アルバック

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

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FCS-T1000MPシリーズ

株式会社フジキン

PI(Pressure Insensitive)機能搭載モデル

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