ESの製品一覧

テストウェハー/Test wafer

株式会社ベクトルジャパン

取扱サイズ/size:φ6″,φ8″,φ12″

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SA/SL Series

住友重機械工業株式会社

露光・高精度検査装置用XYステージ

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Versys Metalシリーズ

Lam Research

困難なエッチング作業に対応できるよう、ラムリサーチの Versys Metal シリーズは柔軟性が高いプラットフォームの上に構築され、高い生産性を実…

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Kiyoシリーズ

Lam Research

ラムリサーチのKiyoシリーズは、導電体を精密かつ高い再現性で形成できる高機能でかつ高生産性を発揮します。用途によっては当社のReliantRシリ…

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FLEXシリーズ

Lam Research

重要絶縁膜エッチ工程のために差別化された技術とアプリケーションを提供する装置

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縦型熱処理装置AVP/RVP/RVP-30

SPPテクノロジーズ株式会社

子会社SPT Microtechnologies USA社製品

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圧縮成型用液状材料(LMC) T693/R4000 series

ナガセケムテックス株式会社

半導体封止用エポキシ樹脂

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TBN溶着継手用溶着機 PWM-120 Series

株式会社キッツエスシーティー

PFA製チューブおよびTBシリーズ継手を溶着する装置として、これまでの当社の溶着作業経験を反映した溶着機

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サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series

株式会社堀場エステック

半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。

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超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series

株式会社堀場エステック

差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現していま…

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